MicroelectrodeTS Estação de Teste de Microeletrodos

• Vantagens:

- Excelente blindagem elétrica garantida na faixa de freqüência de 106 - 10-3 Hz.
- Alta estabilidade mecânica contra vibrações ou choques mecânicos.
- alta precisão Micro contatos com uma dimensão de 2 μm podem ser contatados sem destruição.
- Pequeno volume de gás. Menor quantidade de gases caros, por exemplo. traçadores isotópicos
- Os micro contatos podem ser alterados em alta temperatura e em atmosfera de gás.
- As estruturas de micro-padrões de alta precisão de alguns microns podem ser contatadas suavemente em segundos.

• Equipamento adicional:

- Controladores de fluxo de massa para misturas de gases.
- Garrafa de lavagem a gás de alta pressão para controle de umidade.
- Sensor de gás de oxigênio para controlar a pressão parcial de oxigênio.

- Métodos de medição: espectroscopia de impedância, corrente-tensão.
- Medições, medições de Van der Pauw.
- Tamanho mínimo do passo: 50 nm
- Flanges de vácuo: ISO-KF
- Faixa de temperatura: temperatura ambiente até 1000 ° C / 1200 ° C, dependendo do aquecedor solicitado
- Até três peças controladas + quatro braços adicionais manuais ajustáveis
- Tamanho da amostra: máx. 14 × 14 mm (amostras maiores podem ser obtidas mediante solicitação)
- Tamanho de montagem: 500 × 500 × 500 mm.
- Faixa de pressão: 1 bar a 10e-3 mbar